電壓為1000V以下的電容器使用1000V絕緣電阻測試儀（又稱兆歐表）；電壓為1000V及以上的電容器使用2500V兆歐表進行測量。極對殼的絕緣電阻值不低于2000MΩ；耦合電容器與電容分壓器的極間絕緣電阻值一般不低于5000MΩ。
不能用較高的直流電壓測量多元件串聯的電容器絕緣電阻和泄露電流。因為有缺陷的電容器的直流電阻會降低，直流高壓將加在沒有缺陷的元件上，而導致良好元件的損壞與擊穿。測量電容器極板對外殼的絕緣電阻是交流耐壓試驗前后不可缺少的試驗項目。
電容器兩極對外殼的電容量較小，測量時比較容易獲得穩定讀數，測得的絕緣電阻一般大于2000MΩ。當測量出的結果與過去數據比較有明顯降低時，可能電容器內部元件或者套管受潮。
測量時，應將電容器的兩極短接起來引至搖表的火線，外殼接地。測量中，在試驗前后必須將電容器用高電阻接地放電。
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